用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等。